应三星电子要求 韩国化学企业 PKC 拟将半导体氯气产能扩大 50%
📝 摘要
应三星电子要求,韩国化学企业 PKC 拟将其群山工厂半导体氯气产能扩大 50%,年产能将从目前的 1400 至 1500 吨提升至 2100 至 2200 吨,投资规模达数百亿韩元,驱动因素是高密度 NAND 闪存堆叠所需的蚀刻气体需求激增及三星电子要求扩大氯化氢供应,氯化氢常用于半导体晶圆清洗和蚀刻工艺,通过氯气与氢气反应生成。
✍️ 编辑摘要
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