上海 AI 实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题

📝 摘要

上海 AI 实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位，依托「书生」科学大模型与平台，构建「AI 决策 + 自动化合成」闭环研发体系，实现高纯度、高一致性、高效率的 KrF 光刻胶树脂创制，使高端光刻胶树脂稳定制备不再依赖国外供应商，为芯片材料领域探索出可标准化、快速迭代新路径。目前平台已支撑多批次自动化合成与验证，提升了批次间一致性，厦门恒坤完成树脂适配，产业关键指标达预期，后续将进入客户端验证阶段。

✍️ 编辑摘要

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📌 关键信息

上海 AI 实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位，依托「书生」科学大模型与平台，构建「AI 决策 + 自动化合成」闭环研发体系，实现高纯度、高一致性、高效率的 KrF 光刻胶树脂创制，使高端光刻胶树脂稳定制备不再依赖国外供应商，为芯片材料领域探索出可标准化、快速迭代新路径
目前平台已支撑多批次自动化合成与验证，提升了批次间一致性，厦门恒坤完成树脂适配，产业关键指标达预期，后续将进入客户端验证阶段